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有机膜形成用材料、图案形成方法、以及聚合物 

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申请/专利权人:信越化学工业株式会社

摘要:本发明涉及有机膜形成用材料、图案形成方法、以及聚合物。本发明的课题为提供成膜性优异并能展现高的蚀刻耐性、优异的扭曲耐性、填埋特性的有机膜材料、使用了该有机膜材料的图案形成方法、及适于如此的有机膜材料的聚合物。解决该课题的手段为一种有机膜形成用材料,是有机膜形成时使用的材料,其含有具有下列通式1表示的重复单元的聚合物、及有机溶剂。上述通式1中,AR1、AR2为也可以有取代基的苯环或萘环。W1为不具有芳香环的碳数2~20的2价有机基团,构成有机基团的亚甲基也可取代为氧原子或羰基。W2为至少具有1个以上的芳香环的碳数6~80的2价有机基团。

主权项:1.一种有机膜形成用材料,是有机膜形成时使用的材料,其特征为含有具有下列通式1表示的重复单元的聚合物、及有机溶剂; 该通式1中,AR1、AR2为也可以有取代基的苯环或萘环;W1为不具有芳香环的碳数2~20的2价有机基团,构成有机基团的亚甲基也可取代为氧原子或羰基;W2为至少具有1个以上的芳香环的碳数6~80的2价有机基团。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 信越化学工业株式会社 有机膜形成用材料、图案形成方法、以及聚合物

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