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申请/专利权人:株式会社堀场STEC
摘要:本发明提供压电元件诊断装置、压电元件诊断方法、存储介质、流体控制装置和气化系统。本发明能够在适当的时机更换或维护压电元件,压电元件诊断装置10诊断组装于装置的压电元件321,包括:驱动信息取得部4d,取得压电元件321的驱动信息;以及寿命算出部4e,基于驱动信息算出压电元件的消耗寿命或剩余寿命。
主权项:1.一种压电元件诊断装置,诊断组装于装置的压电元件,其特征在于,包括:驱动信息取得部,取得所述压电元件的驱动信息;以及寿命算出部,基于所述驱动信息算出所述压电元件的消耗寿命或剩余寿命。
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权利要求:
百度查询: 株式会社堀场STEC 压电元件诊断装置、压电元件诊断方法、存储介质、流体控制装置和气化系统
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