龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：该系统包括光学设备、反射设备、可移动反射设备和检测器。光学设备被设置在第一平面处并围绕系统的轴线，以及接收来自目标的散射辐射。反射设备至少被设置在第二平面处并围绕轴线。每个反射设备接收来自对应光学设备之一的散射辐射。可移动反射设备沿轴线设置并接收来自每个反射设备的散射辐射。检测器接收来自可移动反射设备的散射辐射。
主权项：1.一种系统，包括：光学设备，被设置在第一平面处并围绕所述系统的轴线，并且被配置为接收来自目标的散射辐射；反射设备，被设置在至少第二平面处并围绕所述轴线，所述反射设备中的每个反射设备被配置为接收来自所述光学设备中的对应的一个光学设备的所述散射辐射；可移动反射设备，沿所述轴线设置并且被配置为接收来自所述反射设备的每个反射设备的所述散射辐射；以及检测器，被配置为接收来自所述可移动反射设备的所述散射辐射。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 在用于快速光学检查目标的系统中实现的光学系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号