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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
摘要：根据本发明的压力传感器具有膜片，该膜片横跨空腔。在膜片中或者上，在中心区域中设置有第一电极。在空腔底部上，与膜片的中心区域或第一电极对置地设置有第二电极。第二电极固定地且刚性地布置，而在膜片中或者上的第一电极构型为，使得该第一电极可以柔性地与膜片一起挠曲并且在压力施加到膜片上的情况下朝向第二电极运动。该第一和第二膜片一起形成第一测量电容，借助该第一测量电容能够检测直至压力极限值为止的压力。在达到该压力极限值时，膜片接触到第二电极上，使得在压力进一步增加的情况下，不发生电容的进一步变化。为了尽管如此仍可以检测更高的压力，根据本发明，在该膜片的侧面区域中设置第二测量电容。该第二测量电容通过在膜片的侧面区域中或者上的附加的第一电极以及另外的第二电极形成，该另外的第二电极在空腔底部上与附加的第一电极相对地布置。在此，本发明的核心在于，第二测量电容的电极的间距小于第一测量电容的电极的间距。
主权项：1.微机械电容式压力传感器，其至少具有·膜片140、145，所述膜片横跨空腔110，·柔性的第一电极，所述第一电极被分配给所述膜片140、145的中心区域I，·在所述空腔底部115上的刚性的第二电极150，所述第二电极与所述中心区域I对置，·柔性的附加的第一电极180，所述附加的第一电极被分配给所述膜片140、145的侧面区域II，和·在所述空腔底部115上的刚性的另外的第二电极160、165，所述另外的第二电极与所述侧面区域II对置，其中，在所述侧面区域II中在所述附加的第一电极与所述另外的第二电极160、165之间的间距小于在所述中心区域I中在所述第一电极与所述第二电极150之间的间距。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗伯特·博世有限公司 微机械压力传感器以及制造方法和用于检测压力参量的方法
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