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申请/专利权人：苏州大学
摘要：本发明提供一种基于摩擦电效应的超声传感器，涉及超声传感器技术领域。超声传感器包括衬底，衬底的底部设有凹槽，凹槽的底部设有共振膜，共振膜用于接收超声信号，超声传感器还包括：键合层，位于衬底的上方，键合层的中部设有至少一个第一贯穿孔；组合层，位于键合层和衬底之间，组合层包括第一电极区；摩擦层，位于键合层顶部，摩擦层的谐振频率与超声信号的振动频率一致，且摩擦层配置成在超声信号的激励下振动并穿过第一贯穿孔与组合层的第一电极区接触，进而产生电信号。本发明的超声传感器实现了基于摩擦电效应的超声传感器的微型化，且能够实现高精度、自驱动、无需外部供电的超声传感方式。
主权项：1.一种基于摩擦电效应的超声传感器，所述超声传感器包括衬底，所述衬底的底部设有凹槽，所述凹槽的底部设有共振膜，所述共振膜用于接收超声信号，其特征在于，所述超声传感器还包括：键合层，位于所述衬底的上方，所述键合层的中部设有至少一个第一贯穿孔；组合层，位于所述键合层和所述衬底之间，所述组合层包括第一电极区；摩擦层，位于所述键合层顶部，所述摩擦层的谐振频率与所述超声信号的振动频率一致，且所述摩擦层配置成在所述超声信号的激励下振动并穿过所述第一贯穿孔与所述组合层的所述第一电极区接触，进而产生电信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州大学 一种基于摩擦电效应的超声传感器及其制备方法
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