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申请/专利权人：江西旺泰新能源科技有限公司
摘要：本实用新型提供一种PECVD反应炉，涉及反应炉技术领域，包括：炉体，所述炉体表面的一端安装有尾端固定法兰，所述尾端固定法兰表面的一端安装有尾端水冷法兰，所述炉体表面的一端贯通安装有抽气孔，所述炉体表面的一端嵌设安装有电极杆，所述电极杆表面的一端安装有石墨舟。本实用新型，通过前端进气法兰进气，气体通过炉体的内腔在加热装置的表面进行反应，最终通过抽气孔抽出，同时通过多个进气孔进气，气体进入炉体的内腔后将向下沉淀，最终从出气口抽出，通过这种结构达到了双重进气的效果，通过进气孔和出气口之间均相互对应，达到了提高气体分布均匀性的作用。
主权项：1.一种PECVD反应炉，其特征在于，包括：炉体1，所述炉体1表面的一端安装有尾端固定法兰101，所述尾端固定法兰101表面的一端安装有尾端水冷法兰102，所述炉体1表面的一端贯通安装有抽气孔2，所述炉体1表面的一端嵌设安装有电极杆3，所述电极杆3表面的一端安装有石墨舟6，所述石墨舟6位于炉体1的内部，所述炉体1表面的另一端安装有前端固定法兰103，所述前端固定法兰103表面的一端安装有前端进气法兰104，所述炉体1的表面设置有加热装置4，所述炉体1的表面的顶部等距贯通安装有多个进气孔5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江西旺泰新能源科技有限公司 一种PECVD反应炉
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