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申请/专利权人：中电九天智能科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体产品监控技术领域，公开了基于连续批次半导体产品发生异常情况的监控方法，包括选取半导体制造设备，在FDC模型设备维护，并设定晶圆生产过程中设备需要卡控的制程参数；在报警算法中设置连续的卡控范围M和异常的晶圆产品批次累计个数N，进行监控；接收每片晶圆产品的监控结果，并触发报警算法；根据报警算法，触发报警动作并初始化批次记录。本发明还提供了基于连续批次半导体产品发生异常情况的监控系统，本发明采用更高效的算法支持以产品批次为单位的连续异常和累计异常的复合报警规则，提高生产过程中监控报警的精细化管理水平，让工厂更精准及时地发现设备异常情况，提高生产良率。
主权项：1.基于连续批次半导体产品发生异常情况的监控方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1.选取半导体制造设备X，在FDC模型中对所述设备X按照产品类别和生产工艺类别来维护，并设定晶圆产品生产过程中制造设备X需要卡控的制程参数；步骤S2.在报警算法中设置连续的卡控范围M和异常的晶圆产品批次累计个数N，晶圆产品批次中的晶圆产品在生产过程中，监控参数超过设置的上下限阈值时，将所述晶圆产品所属的产品批次记为异常，N为最近连续M个生产批次中被标记为异常生产批次的累计个数；步骤S3.接收每片晶圆产品的监控结果，并触发报警算法；所述步骤S3包括：判断当前晶圆产品的所属产品批次是否存在于报警算法的批次记录缓存中，如果否，则为第一次触发监控报警算法，在FDC模型中将制程参数值超过正常卡控范围的晶圆产品标记为触发OOC，对于制程参数触发OOC的晶圆产品，初始化批次记录并表示为（M-1）个0并取末位为1，标记当前触发OOC的晶圆产品所属产品批次的状态为异常；如果是，则为非第一次触发监控报警算法，并对非第一次触发监控报警算法的晶圆产品进行操作；步骤S4.根据报警算法，判断所述晶圆产品所属产品批次是否为异常，如果否，则不处理，如果是，则抓取最近连续M个产品批次，判断M个产品批次中累计的异常产品批次个数，如果累计异常个数大于等于N，触发报警动作并初始化批次记录。
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百度查询： 中电九天智能科技有限公司 基于连续批次半导体产品发生异常情况的监控方法及系统
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