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放射线检测器、放射线检测器的制造方法和装置、闪烁体面板、闪烁体面板的制造方法和装置 

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申请/专利权人:佳能电子管器件株式会社

摘要:本发明提供一种放射线检测器、放射线检测器的制造方法和装置、闪烁体面板、闪烁体面板的制造方法和装置,能提高闪烁体层与反射层或防潮层之间的附着力。放射线检测器包括:光电转换基板11;闪烁体层,其通过真空蒸镀法形成在上述光电转换基板上,包含主材料和掺杂材料;以及反射层或防潮层,其在上述闪烁体层的表面侧沿着上述闪烁体层的表面形状而形成。上述闪烁体层具有:形成在上述光电转换基板上的上述主材料与上述掺杂材料的混合层部;以及形成在上述混合层部的表面侧的仅有上述掺杂材料的掺杂材料层部。至少上述掺杂材料层部的表面形成为凹凸形状。

主权项:1.一种放射线检测器,其特征在于,包括:光电转换基板;闪烁体层,该闪烁体层通过真空蒸镀法形成在所述光电转换基板上,包含主材料和掺杂材料;以及反射层或防潮层,该反射层或防潮层在所述闪烁体层的表面侧沿着所述闪烁体层的表面形状而形成,所述闪烁体层具有:形成在所述光电转换基板上的所述主材料与所述掺杂材料的混合层部;以及形成在该混合层部的表面侧的仅有所述掺杂材料的掺杂材料层部,相较于所述混合层部,至少所述掺杂材料层部的表面相对地形成为凹凸形状。

全文数据:

权利要求:

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