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申请/专利权人：住友大阪水泥株式会社
摘要：本发明的目的在于提供一种高频特性优异、对于覆盖光波导的树脂层的图案形成或供电线向电极的接合也良好的光波导元件。本发明的光波导元件具有形成于基板1的光波导10以及配置于所述基板1上的信号电极S与接地电极G，所述光波导元件的特征在于，所述信号电极S与所述接地电极G各自的电极由除去基底层以外的多级电极层30、31形成，且所述多级电极层内至少两个电极层的表面粗糙度不同。
主权项：1.一种光波导元件，具有形成于基板的光波导以及配置于所述基板上的信号电极与接地电极，所述光波导元件的特征在于，所述信号电极与所述接地电极的各者由除去基底层以外的多级电极层形成，且所述多级电极层内至少两个电极层的表面粗糙度不同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 住友大阪水泥株式会社 光波导元件及使用所述光波导元件的光调制器件以及光发送装置
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