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申请/专利权人：宁夏大学
摘要：本发明公开一种亚波长声学波导增强的声光调制器，涉及集成光学技术领域；包括基片，所述基片包括蓝宝石衬底以及设置在蓝宝石衬底上的二氧化硅层，在基片上设置铌酸锂薄膜，所述铌酸锂薄膜包括刻蚀的换能区、亚波长声学波导、声光子晶体腔以及侧耦合光子晶体；换能区上设置叉指换能器，亚波长声学波导与换能区通过刻蚀的锥形过渡区耦合，所述声光子晶体腔与亚波长声学波导直接耦合，与光学波导侧耦合。本发明使用非悬浮的亚波长声学波导驱动悬浮的声光子晶体腔，可同时激发强束缚态的类勒夫声波模式和类瑞丽声波模式，显著提高了声光调制器的调制效率和转换效率。同时，该器件制备工艺简单，在信号处理领域具有广阔的应用前景。
主权项：1.一种亚波长声学波导增强的声光调制器，其特征在于，包括基片，所述基片包括蓝宝石衬底1以及设置在蓝宝石衬底1上的二氧化硅层2，在基片上设置铌酸锂薄膜3；所述铌酸锂薄膜3包括刻蚀的换能区、锥形过渡区7、亚波长声学波导8、声光子晶体腔9以及的侧耦合光子晶体10；所述换能区上设置叉指换能器6，所述亚波长声学波导8与换能区通过刻蚀的锥形过渡区7连接，所述声光子晶体腔8与非悬浮的亚波长声学波导8连接，与悬浮的侧耦合光子晶体10平行。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁夏大学 一种亚波长声学波导增强的声光调制器
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