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申请/专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要：本发明提供一种安全快门及光刻机。其中，所述安全快门包括：盖板、叶片、传动轴和驱动组件；盖板具有一通光孔，驱动组件设置于盖板上，且位于通光孔的侧边；传动轴分别与驱动组件和叶片相接，用于在驱动组件运动时带动叶片转动，以使叶片关闭或打开通光孔；其中，所述传动轴具有联轴部和连接部；所述联轴部与所述连接部相接，所述连接部沿传动轴的径向延伸，且与叶片相接，以支撑叶片。可见，本发明利用传动轴上的联轴部来吸收旋转体间发生的偏心、偏角、振动振幅等轴心偏差，以提升安全快门的运动可靠性，防止卡死或运动不流畅。以及，利用传动轴上的连接部增加对叶片的支撑力，从而减小叶片的偏载力矩，提高运动流畅性。
主权项：1.一种安全快门，其特征在于，包括：盖板、叶片、传动轴和驱动组件；所述盖板具有一通光孔，所述驱动组件设置于所述盖板上，且位于所述通光孔的侧边；所述传动轴分别与所述驱动组件和所述叶片相接，用于在所述驱动组件运动时带动所述叶片转动，使得所述叶片关闭或打开所述通光孔；其中，所述传动轴具有联轴部和连接部；所述联轴部与所述连接部相接，所述连接部沿所述传动轴的径向延伸，且与所述叶片相接，以支撑所述叶片。
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权利要求：
百度查询： 上海微电子装备(集团)股份有限公司 安全快门及光刻机
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