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申请/专利权人：电子科技大学
摘要：本发明属于MEMS技术、材料、传感器领域，涉及氢气传感器，具体提供一种基于MEMS工艺的多层钯基微热氢气传感器及其制备方法，用以实现小型化、加热效率高，响应时间快、控温精确及电路兼容性好的技术目标。本发明中衬底上依次层叠设置的测温电极、测温‑加热电极隔离层、加热电极、加热‑氢敏电极隔离层与氢敏电极共同形成多层重叠结构，将加热电极与其上、下层叠的氢敏电极、测温电极之间设置相同的隔离层，使测温电极与氢敏电极处于同一温度区域，提高加热效率的同时实现精确控温，进而提升钯基微热氢气传感器在不同应用场景的适用性；并且，通过在多层重叠结构开设镂空结构，形成阻热区域，能够进一步提升加热效率，降低器件功耗。
主权项：1.一种基于MEMS工艺的多层钯基微热氢气传感器，包括：基底101、测温电极102、测温-加热电极隔离层103、加热电极104、加热-氢敏电极隔离层105以及氢敏电极106；其特征在于：所述基底101背部开设镂空结构，于基底顶部的中心区域形成图形化支撑层，图形化支撑层四周的镂空区域形成阻热区域107，图形化支撑层两侧与其相连接区域形成引脚区域108；所述测温电极102设置于图形化支撑层上，所述加热-测温电极隔离层103设置于测温电极上，所述加热电极104设置于加热-测温电极隔离层上，所述测温-氢敏电极隔离层105设置于加热电极上，所述氢敏电极106设置于测温-氢敏电极隔离层上，所述测温电极102、测温-加热电极隔离层103、加热电极104、加热-氢敏电极隔离层105、氢敏电极106与图形化支撑层采用相同图形结构；所述测温电极102、测温-加热电极隔离层103、加热电极104、加热-氢敏电极隔离层105、氢敏电极106于衬底的引脚区域108上引出引脚及相邻引脚间的隔离层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 电子科技大学 基于MEMS工艺的多层钯基微热氢气传感器及其制备方法
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