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申请/专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要：本发明公开了一种微纳颗粒的制备方法及微纳颗粒，制备方法包括：提供衬底，在衬底上形成牺牲层；在牺牲层上形成功能层；在功能层上通过光刻工艺形成具有目标颗粒图形的图案掩膜，图案掩膜暴露出部分功能层；对功能层被暴露的区域进行离子注入，以改变功能层在该区域内的性质，形成离子注入区，离子注入区的深度等于功能层的厚度；去除功能层的离子注入区；去除牺牲层，得到分散的微纳颗粒。本发明公开了一种微纳颗粒的制备方法，通过光刻、离子注入等步骤，能够实现尺寸精确、形状可控、晶体质量高的微纳颗粒制备，且制备方法简单，不会引入杂质，工艺参数容易控制，生产效率高。
主权项：1.一种微纳颗粒的制备方法，其特征在于，包括：提供衬底，在所述衬底上形成牺牲层；在所述牺牲层上形成功能层；在所述功能层上通过光刻工艺形成具有目标颗粒图形的图案掩膜，所述图案掩膜暴露出部分所述功能层；对所述功能层被暴露的区域进行离子注入，以改变所述功能层在该区域内的性质，形成离子注入区，所述离子注入区的深度等于所述功能层的厚度；去除所述功能层的离子注入区；去除所述牺牲层，得到分散的微纳颗粒。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 微纳颗粒的制备方法及微纳颗粒
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