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申请/专利权人：住友重机械工业株式会社
摘要：低温泵10能够经由闸阀102安装于真空腔室。低温泵10具备：制冷机14；及控制器60，其构成为，检测闸阀102是否处于关闭状态，并控制制冷机14以使闸阀102处于关闭状态时的制冷机14的制冷能力比闸阀102处于打开状态时的制冷能力增加。
主权项：1.一种低温泵，其能够经由闸阀安装于真空腔室，其特征在于，具备：制冷机；及控制器，其构成为，检测所述闸阀是否处于关闭状态，并控制所述制冷机以使所述闸阀处于关闭状态时的所述制冷机的制冷能力比所述闸阀处于打开状态时的制冷能力增加。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 住友重机械工业株式会社 低温泵及低温泵的运转方法
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