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申请/专利权人：光科芯图(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种极紫外光源稳定输出装置和方法，一种极紫外光源稳定输出装置包括无电极Z‑pinch系统以及光源产生单元，所述无电极Z‑pinch系统包括放电腔，所述放电腔内设置有中心孔用于容纳初始等离子体，界定所述中心孔一端为接收端，另一端为极紫外发射端，所述光源产生单元的输出端与所述中心孔同轴设置，所述光源产生单元产生的激光从接收端射入与中心孔内的初始等离子体反应产生极紫外光后从发射端射，通过Z‑pinch系统中的预电离过程代替LPP光源中的预脉冲，提高了LPP光源辐射能量和空间稳定性，实现EUV光源的稳定输出。
主权项：1.一种极紫外光源稳定输出装置，其特征在于：包括无电极Z-pinch系统以及光源产生单元，所述无电极Z-pinch系统包括放电腔，所述放电腔内设置有中心孔用于容纳初始等离子体，界定所述中心孔一端为接收端，另一端为极紫外发射端，所述光源产生单元的输出端与所述中心孔同轴设置，所述光源产生单元产生的激光从接收端射入与中心孔内的初始等离子体反应产生极紫外光后从发射端射出。
全文数据：
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百度查询： 光科芯图(北京)科技有限公司 一种极紫外光源稳定输出装置和方法
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