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申请/专利权人：盛吉盛精密装备(上海)有限公司
摘要：本实用新型提供一种用于晶圆传送手臂的示教装置，包括晶圆盒和机械臂抓手，晶圆盒内的顶部至少设置有一个用于测量机械臂抓手高度的第一测距传感器，晶圆盒内的底部水平位置至少设置有两个用于测量机械臂抓手水平位置的第二测距传感器以及一个用于测量机械臂抓手伸入深度的第三测距传感器。本实用新型通过设置用于检测机械臂抓手位置的各个测距传感器，从很大程度上规避机械臂与晶圆物理接触划伤的风险，提高校准准确性和效率，也提高工作效率和安全系数。
主权项：1.一种用于晶圆传送手臂的示教装置，包括晶圆盒1和机械臂抓手2，其特征在于，所述晶圆盒1内的顶部至少设置有一个用于测量所述机械臂抓手2高度的第一测距传感器3，所述晶圆盒1内的底部水平位置至少设置有两个用于测量所述机械臂抓手2水平位置的第二测距传感器4以及一个用于测量所述机械臂抓手2伸入深度的第三测距传感器5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 盛吉盛精密装备(上海)有限公司 一种用于晶圆传送手臂的示教装置
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