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申请/专利权人：通快激光有限责任公司

摘要：本发明涉及一种用于组合多个相干激光射束3.1，...，3.N的设备5，所述设备包括：分离装置4，所述分离装置用于将输入激光射束9分离成多个相干激光射束3.1，...，3.N，多个相位调整装置6.1，...，6.N，所述相位调整装置用于调整所述相干激光射束3.1，...，3.N中的一个相干激光射束的相应的相位以及射束组合装置10，所述射束组合装置用于组合所述相干激光射束3.1，...，3.N，所述相干激光射束从网格布置的多个网格位置8.1，...，8.N出发，其中，所述射束组合装置10具有微透镜布置11，所述微透镜布置具有至少两个微透镜阵列17a，b。所述设备5具有控制装置15，所述控制装置构造用于根据在所述网格布置内的相应的网格位置8.1，...，8.N的布置来调整所述相干激光射束3.1，...，3.N中的一个相干激光射束的相应的相位以便将所述相干激光射束3.1，...，3.N组合成衍射到不同于第零衍射级的衍射级中的至少一个激光射束12，和或所述控制装置构造用于根据在所述网格布置内的相应的网格位置8.1，...，8.N的布置来改变所述相干激光射束3.1，...，3.N中的一个相干激光射束的相应的相位以便改变如下衍射级：所述至少一个组合激光射束12衍射到所述衍射级中。本发明还涉及一种所属的激光系统1以及一种用于尤其借助这样的设备5组合多个相干激光射束3.1，3.2，3.3的方法。

主权项：1.一种用于组合多个相干激光射束3.1，...，3.N；3.1.1，...，3.N.M的设备5，所述设备包括：分离装置4，所述分离装置用于将输入激光射束9分离成多个相干激光射束3.1，...，3.N；3.1.1，...，3.N.M，多个相位调整装置6.1，...，6.N，所述多个相位调整装置用于调整所述相干激光射束3.1，...，3.N；3.1.1，...，3.N.M中的一个相干激光射束的相应的相位δφa+Δφa；δφa,b+Δφa,b，以及射束组合装置10，所述射束组合装置用于组合所述相干激光射束3.1，...，3.N；3.1.1，...，3.N.M，所述相干激光射束从网格布置16的多个网格位置8.1，...，8.N；8.1.1，...，8.N.M出发，其中，所述射束组合装置10具有微透镜布置11，所述微透镜布置具有至少两个微透镜阵列17a，b，其特征在于，控制装置15，所述控制装置构造用于：根据在所述网格布置16内的相应的网格位置8.1，...，8.N；8.1.1，...，8.N.M的布置来调整所述相干激光射束3.1，...，3.N；3.1.1，...，3.N.M中的一个相干激光射束的相应的相位δφa+Δφa；δφa,b+Δφa,b，以便将所述相干激光射束3.1，...，3.N；3.1.1，...，3.N.M组合成衍射到不同于第零衍射级B0的衍射级Bk,x，Bk,y；Bk,x,1，Bk,y,1，Bk,x,2，Bk,y,2中的至少一个激光射束12，12a，b，并且所述控制装置构造用于：根据在所述网格布置16内的相应的网格位置8.1，...，8.N；8.1.1，...，8.N.M的布置来改变所述相干激光射束3.1，...，3.N；3.1.1，...，3.N.M中的一个相干激光射束的相应的相位δφa+Δφa；δφa,b+Δφa,b，以便改变如下衍射级Bk,x，Bk,y：所述至少一个组合激光射束12，12a，b衍射到所述衍射级中，其中，所述网格布置16中的网格位置8.1，...，8.N沿着第一方向X布置，其中，所述相干激光射束3.1，...，3.N和所述微透镜布置11满足下述条件：N＝px2λLfE，其中，N表示沿着所述第一方向X布置的网格位置8.1，...，8.N的数量，px表示相应的微透镜阵列17a，b；17a-c的微透镜20a，b；20a-c在所述第一方向X上的网格间距，λL表示激光波长，fE表示所述微透镜布置11的焦距。

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百度查询： 通快激光有限责任公司 用于组合相干激光射束的设备、激光系统和方法