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申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司
摘要:本申请实施例提供了一种失效位置的修补方法和装置,在对晶圆的失效位置进行修补时,可以先确定待处理晶圆中的失效位元;并基于挖掘规则库中包括的潜在挖掘规则,确定与失效位元存在关联的目标潜在失效位元;这样基于挖掘规则库中的潜在挖掘规则,确定与失效位元存在关联的目标潜在失效位元,可以挖掘出更多的与失效位元存在关联的目标潜在失效位元,使得后续在对失效位元对应的失效位置,和目标潜在失效位元对应的目标潜在失效位置进行修补时,可以在一定程度上避免失效位元位置被遗漏,从而有效地降低了晶圆出现故障的概率。
主权项:1.一种失效位置的修补方法,其特征在于,包括:确定待处理晶圆中的失效位元;基于挖掘规则库中的挖掘规则,确定与所述失效位元存在关联的目标潜在失效位元;其中,所述挖掘规则库中包括潜在挖掘规则,所述潜在挖掘规则是基于预设挖掘规则确定的潜在失效位置得到的;对所述失效位元对应的失效位置,和所述目标潜在失效位元对应的目标潜在失效位置进行修补,得到修补后的目标晶圆;所述基于挖掘规则库中的挖掘规则,确定与所述失效位元存在关联的目标潜在失效位元之前,所述方法还包括:获取历史样本数据;其中,所述历史样本数据包括与历史失效位元关联的历史新增失效位元、以及基于所述预设挖掘规则确定的历史潜在失效位置;将所述历史潜在失效位置周围紧邻的位元位置确定为历史目标潜在失效位置;根据所述历史新增失效位元和所述历史目标潜在失效位置,确定所述潜在挖掘规则。
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权利要求:
百度查询: 长鑫存储技术有限公司 失效位置的修补方法和装置
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