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申请/专利权人：中国特种设备检测研究院
摘要：本发明实施例公开了一种试样厚度测量装置、测量方法及试样厚度计算方法，包括用于通过缝隙光源照射试样两侧表面并成像至同一工业相机上的光学成像装置、用于夹持试样并带动试样运动的运动装置，光学成像装置包括用于向试样两侧照射缝隙光的两组照射组件和用于缝隙光成像的成像透镜组件，运动装置包括用于带动试样沿直线运动的X轴滑台以及用于带动试样旋转的旋转台，旋转台设置在X轴滑台上，旋转台上设置有用于夹持试样的试样夹持器，采用光学原理获得待测试样两面狭缝图像的差值，来获取待测试样的最小厚度，快速，高效，其结果可靠，无需对试样进行破坏，且测量的试样最小厚度精准度较高。
主权项：1.一种试样厚度测量装置，其特征是：包括用于通过缝隙光源照射试样两侧表面并成像至同一工业相机13上的光学成像装置、用于夹持试样并带动试样运动的运动装置，所述光学成像装置包括用于向试样两侧照射缝隙光的两组照射组件和用于缝隙光成像的成像透镜组件，所述运动装置包括用于带动试样沿直线运动的X轴滑台3以及用于带动试样旋转的旋转台4，所述旋转台4设置在X轴滑台3上，所述旋转台4上设置有用于夹持试样的试样夹持器；两组所述照射组件包括第一照射组件以及第二照射组件，所述第一照射组件包括垂直照射在试样一面上的左光源1以及设置在左光源1与试样之间的左缝隙光栅2；所述第二照射组件包括垂直照射在试样另一面上的右光源7和设置在右光源7与试样之间的右缝隙光栅6，所述左光源1和右光源7设置为平行光源，所述左光源1与右光源7发出的光线在同一平面内；所述成像透镜组件包括用于成像的工业相机13和设置在工业相机13上的成像镜头12、设置在试样与成像镜头12之间用于将光线导入至成像镜头12上的若干个反射镜、设置在成像镜头12与反光镜之间用于滤光的半透镜11；反射镜的数量为三个，分别为左反射镜9、中央反射镜10和右反射镜8；半透镜11位于试样正下方，且倾斜设置，用于将试样左右两侧的反射光滤光后射入至成像镜头12上；X轴滑台3的可动范围为±10～20mm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国特种设备检测研究院 一种试样厚度测量装置、测量方法及试样厚度计算方法
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