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申请/专利权人：奥菲尔-斯皮里康公司

摘要：本申请公开一种用于补偿激光束测量仪器中的聚焦误差的方法和设备，所述激光束测量仪器通过分析围绕光轴以多个角度获取的瑞利散射的图像来表征光束参数。如果未精确地定位所述激光束，则这些图像可能不对焦并且所述仪器不会报告准确结果。此方法和设备通过分析至少两个图像中的光束位置来寻找所述光束的纵轴。将所有图像细分成切片，并且计算从所述光束轴到每一切片的焦平面的距离并将其用于寻找每一切片的离焦传递函数，所述离焦传递函数与所述系统的调制传递函数组合使用以对所述切片进行解卷积。随后可以分析通过重组所述解卷积的切片形成的图像，以获得正确的光束参数。

主权项：1.一种用于校正图像的聚焦的方法，包括：提供至少一个成像装置，所述至少一个成像装置定义第一焦平面Py和第二焦平面Px，其中所述至少一个成像装置包括至少一个图像传感器，所述至少一个图像传感器被配置成捕获通过从传播通过至少一个采样区域的至少一个激光束的瑞利散射而散射的一个或多个散射光信号的一个或多个图像，其中所述至少一个成像装置包括对焦调制传递函数Hξ；提供至少一个图像处理模块，所述至少一个图像处理模块具有至少一个显示器，其中所述至少一个图像处理模块与所述至少一个成像装置通信；利用所述至少一个成像装置的所述至少一个图像传感器以捕获第一散射光信号的所述第一焦平面Py中的至少一个对焦图像；以及捕获第二散射光信号的所述第二焦平面Px中的至少一个离焦图像；利用与所述至少一个成像装置通信的所述至少一个图像处理模块以通过用至少一个光标在一个或多个光标位置处扫描所述至少一个对焦图像，生成所述至少一个对焦图像的一个或多个切片；确定所述至少一个对焦图像在所述第一焦平面Py中的至少一个第一轴线B1；计算从所述一个或多个切片中的每一个的中心到所述第二焦平面Px的计算距离d，并且分配距每个相应切片的所述计算距离的值，其中所述一个或多个切片中的每一个的中心是相对于所述至少一个对焦图像定义；使用所述计算距离的经分配的所述值来解析所述一个或多个切片中的每一个的离焦传递函数Gξ,d；根据所述对焦调制传递函数Hξ和经解析的所述离焦传递函数Gξ,d对所述对焦图像的每个切片进行解卷积；将解卷积后的所述切片重组成校正图像；输出所述校正图像至所述至少一个图像处理模块的所述至少一个显示器；以及利用所述校正图像来计算所述校正图像中所示的至少一个束腰的宽度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 奥菲尔-斯皮里康公司 用于多图像激光束质量测量的聚焦校正的方法和设备