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申请/专利权人：湖南大学
摘要：本发明公开了一种室温声表面波甲基膦酸二甲酯传感器及其制备方法和应用，属于气体传感器技术领域，该室温声表面波甲基膦酸二甲酯传感器包括铌酸锂衬底、设置于所述铌酸锂衬底上的两个平行且间隔设置的叉指换能器、溅射在所述铌酸锂衬底和所述叉指换能器上的二氧化硅绝缘层以及涂覆于所述二氧化硅绝缘层上并位于两个所述叉指换能器之间的氯化铜氧化锆敏感层。本发明开发出了用于检测甲基膦酸二甲酯的新型复合材料，在室温下便能够对甲基膦酸二甲酯气体具有优异的气敏性能，显著提高了声表面波甲基磷酸二甲酯传感器的灵敏度。
主权项：1.一种室温声表面波甲基膦酸二甲酯传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，将氯化锆粉末溶于去离子水中，形成氯化锆分散液，然后将氯化锆分散液在室温下以一定功率超声一段时间，得到均匀的氯化锆溶液；步骤2，取步骤1制备的氯化锆溶液，加入三水合硝酸铜粉末，搅拌均匀，得到混合溶液，将混合溶液转移到烘箱中加热一段时间，得到氯化铜氧化锆初始样品；步骤3，将氯化铜氧化锆初始样品用无水乙醇和去离子水交替洗涤，然后离心分离，在室温下干燥，得到氯化铜氧化锆复合材料；步骤4，将氯化铜氧化锆复合材料与去离子水混合，形成氯化铜氧化锆溶液；步骤5，采用光刻、蒸铝和剥离工艺，在铌酸锂衬底上制备叉指换能器，并通过溅射方法在铌酸锂衬底和叉指换能器表面制得二氧化硅绝缘层；步骤6，采用滴铸法，将所述氯化铜氧化锆溶液滴在二氧化硅绝缘层上位于两个所述叉指换能器之间的区域，在一定温度下干燥一段时间，然后置于室温稳定后，得到基于氯化铜氧化锆的室温声表面波甲基膦酸二甲酯传感器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南大学 室温声表面波甲基膦酸二甲酯传感器及其制备方法和应用
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