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申请/专利权人：重庆臻宝科技股份有限公司
摘要：本发明公开一种J‑R型静电卡盘及其制备方法与应用，J‑R型静电卡盘的制备方法的制备方法包括如下步骤：首先，按质量百分比计，氧化铝68‑73％，氧化钇17‑20％，氧化钛7‑14％；按配比称取所需要的氧化铝、氧化钇和氧化钛，进行研磨成粉并混合得混合粉末A；然后将混合粉末A与纯水的质量比按照为1:2进行均匀搅拌，并向水中加入适量的分散剂和粘合剂，进行喷雾造粒，得到造粒粉末B；最后依次将绝缘层、电极层和造粒粉末B进行等离子喷涂至铝基材上，得到自下而上依次为铝基材、绝缘层、电极层和电介质层的J‑R型静电卡盘。本发明制备的J‑R型静电卡盘具备优异的静电吸附力和解吸附响应。此外，造粒粉末B进行等离子喷涂后形成电介质层，也具备良好的耐蚀性和耐电压性。
主权项：1.一种J-R型静电卡盘的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1按质量百分比计，氧化铝68-73％，氧化钇17-20％，氧化钛7-14％；按配比称取所需要的氧化铝、氧化钇和氧化钛，进行研磨成粉并混合得混合粉末A；氧化钛的化学式为Ti2O3；2将混合粉末A与纯水的质量比按照为1:2进行均匀搅拌，并向水中加入适量的分散剂和粘合剂，进行喷雾造粒，得到造粒粉末B；3依次将绝缘层、电极层和造粒粉末B进行等离子喷涂至铝基材上，得到自下而上依次为铝基材、绝缘层、电极层和电介质层的J-R型静电卡盘。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆臻宝科技股份有限公司 一种J-R型静电卡盘及其制备方法与应用
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