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申请/专利权人:北京晨晶电子有限公司
摘要:本发明涉及检测元件技术领域,提供一种电容器结构及压力传感器,其中,电容器结构包括壳体和感应模块,壳体的一侧设置有通气口;感应模块固定设置在壳体内,感应模块包括固定电极、薄膜电极和第一连接层,固定电极为石英固定电极,薄膜电极为石英可动电极,固定电极通过第一连接层固定在薄膜电极背离通气口的一侧,第一连接层设置在固定电极和薄膜电极之间以使固定电极和薄膜电极之间形成间隙,薄膜电极与壳体上背离通气口的一侧围成密封腔,薄膜电极与壳体上设置有通气口的一侧围成工艺腔。本发明提供的电容器结构及压力传感器,固定电极与薄膜电极固定连接,形成模块化结构,便于进行装配。
主权项:1.一种电容器结构,其特征在于,包括:壳体,所述壳体的一侧设置有通气口;感应模块,固定设置在所述壳体内,所述感应模块包括固定电极、薄膜电极和第一连接层,所述固定电极为石英固定电极,所述薄膜电极为石英可动电极,所述固定电极通过所述第一连接层固定在所述薄膜电极背离所述通气口的一侧,所述第一连接层设置在所述固定电极和所述薄膜电极之间以使所述固定电极和所述薄膜电极之间形成间隙,所述薄膜电极与所述壳体上背离通气口的一侧围成密封腔,所述薄膜电极与所述壳体上设置有通气口的一侧围成工艺腔,固定电极和薄膜电极形成模块化结构,固定电极上设置有通孔,空气可穿过固定电极。
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百度查询: 北京晨晶电子有限公司 电容器结构及压力传感器
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