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申请/专利权人：北京兆维电子(集团)有限责任公司

摘要：本发明公开了一种厚度测量装置，包括四自由度工件台和厚度测量组件，所述四自由度工件台与所述厚度测量组件沿前后方向间隔分布，所述四自由度工件台具有四自由度移动件和安装在四自由度移动件驱动端的第一安装座，待测量的物件安装在所述第一安装座上，且其待测量部突出于所述第一安装座边缘，并朝向所述厚度测量组件，所述厚度测量组件具有测量部和二自由度移动件，且所述测量部安装在所述二自由度移动件的驱动端，所述二自由度移动件用以调节所述测量部的水平高度和沿左右方向的竖向倾角，通过设置四自由度工件台可使得工件沿前后方向和或左右方向，同时还能使得其旋转并调节其沿左右方向的竖向倾角，从而使得其测量更加灵活。

主权项：1.一种厚度测量装置，其特征在于，包括四自由度工件台（1）和厚度测量组件（2），所述四自由度工件台（1）与所述厚度测量组件（2）沿前后方向间隔分布，所述四自由度工件台（1）具有四自由度移动件（11）和安装在四自由度移动件（11）驱动端的第一安装座（12），待测量的物件（4）安装在所述第一安装座（12）上，且其待测量部突出于所述第一安装座（12）边缘，并朝向所述厚度测量组件（2），所述厚度测量组件（2）具有测量部（21）和二自由度移动件（22），且所述测量部（21）安装在所述二自由度移动件（22）的驱动端，所述二自由度移动件（22）用以调节所述测量部（21）的水平高度和沿左右方向的竖向倾角，所述四自由度工件台（1）用以驱动所述物件（4）在空间内作沿前后方向和或左右方向移动并调整其沿左右方向的竖向倾角和水平朝向，以使得所述物件（4）的待测量部靠近并垂直于所述测量部（21），所述测量部（21）用以测量物件（4）待测量部的厚度；所述四自由度移动件（11）包括二维移动机构（111）、倾角调节机构（112）和第一旋转机构（113），所述倾角调节机构（112）安装在所述二维移动机构（111）的驱动端，所述第一旋转机构（113）安装在所述倾角调节机构（112）的驱动端，所述第一安装座（12）安装在所述第一旋转机构（113）的驱动端，所述二维移动机构（111）用以驱动所述倾角调节机构（112）在沿前后方向和或左右方向移动，所述倾角调节机构（112）用以调节所述第一旋转机构（113）沿左右方向的竖向倾角，所述第一旋转机构（113）用以调节所述第一安装座（12）在其旋转面内的朝向；所述二自由度移动件（22）包括第二驱动件（221）和第二旋转机构（222），所述第二旋转机构（222）安装在所述第二驱动件（221）的驱动端，所述第二旋转机构（222）的驱动端水平朝向所述四自由度工件台（1），且所述测量部（21）安装在所述第二旋转机构（222）的驱动端，所述第二驱动件（221）用以调节所述第二旋转机构（222）的水平高度，所述第二旋转机构（222）用以调节所述测量部（21）沿左右方向的竖向倾角；所述测量部（21）包括安装板（211）、两个第三驱动件（212）、两个安装件（213）和两个测距探头（214），所述安装板（211）为直条形，其一侧面的中部与所述第二旋转机构（222）的驱动端连接，两个所述第三驱动件（212）间隔安装在所述安装板（211）另一侧面的两端，两个所述安装件（213）与两个所述第三驱动件（212）一一对应，两个所述测距探头（214）与两个所述安装件（213）一一对应，两个所述安装件（213）分别安装在对应的所述第三驱动件（212）的驱动端，两个所述测距探头（214）分别安装在对应的所述安装件（213）上，两个所述测距探头（214）之间具有间隙，且二者的感应端相互靠近且对齐，所述第三驱动件（212）用以调节对应的所述测距探头（214）沿所述安装板（211）的长度方向移动，所述四自由度工件台（1）和厚度测量组件（2）用以共同调节所述物件（4）的待测量部移动至位于两个所述测距探头（214）之间，且两个所述测距探头（214）的感应端垂直于所述物件（4）的待测量部；所述测量部（21）还包括托板（215），所述托板（215）垂直安装在所述安装板（211）上，并位于两个所述测距探头（214）之间，且所述托板（215）与所述安装板（211）的长度方向垂直，所述托板（215）上具有贯穿其的通孔（2151），且两个所述测距探头（214）的感应端均与所述通孔（2151）对齐，所述四自由度工件台（1）用以调节所述物件（4）搁在所述托板（215）上，且所述物件（4）的待测量部位于所述通孔（2151）处。

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