买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心

摘要：本发明公开了一种基于弱相干干涉光谱成像系统的光学元件缺陷检测方法，按照以下步骤进行：S1、使用弱相干干涉光谱成像装置采集光学元件的原始干涉光谱信号；S2、得到空间强度结构图像；S3、根据空间强度结构图像，得到强度结构投影图像；S4、得到缺陷纹理特征；S5、得到光谱曲线；S6、结合步骤S4中得到的缺陷纹理特征和步骤S5中得到的光谱曲线，对不同类型缺陷进行区分。采用本发明公开的基于弱相干干涉光谱成像系统的光学元件缺陷检测方法，突破了现有暗场和明场图像检测区分损伤坑缺陷的局限性，实现了光学元件缺陷分类，能够有效区分小尺度损伤坑及表面污染颗粒，从而实现高灵敏度检测，避免出现漏修复与错修复的问题。

主权项：1.一种基于弱相干干涉光谱成像系统的光学元件缺陷检测方法，所述弱相干干涉光谱成像系统包括弱相干干涉光谱成像装置和信号处理与控制模块，其特征在于，所述光学元件缺陷检测方法按照以下步骤进行：S1、先将弱相干干涉光谱成像装置的工作波段的中心波长设定值在400纳米至760纳米的范围，然后使用弱相干干涉光谱成像装置沿x轴方向和y轴方向扫描采集光学元件的原始干涉光谱信号Ik,x,y，并传输给信号处理与控制模块，其中，k表示原始光谱的波数，x表示表示弱相干干涉光谱成像横向快扫描方向坐标，y表示弱相干干涉光谱成像纵向慢扫描方向；S2、信号处理与控制模块对采集的原始干涉光谱信号Ik,x,y进行傅里叶变换得到空间强度结构图像Iz,x,y，其中，z表示沿入射光轴的深度方向坐标；S3、根据空间强度结构图像Iz,x,y，沿z轴方向进行最大值投影，得到强度结构投影图像MIPx,y；S4、根据强度结构投影图像MIPx,y，基于灰度共生矩阵提取缺陷纹理特征；S5、信号处理与控制模块先将采集的原始干涉光谱信号Ik,x,y分为N个光谱波段，其中，N为大于1的整数，然后对各个光谱波段进行短时傅里叶变换，得到由不同空间位置、N个不同波段的光反射强度构成的光谱曲线Sk′,z,x,y，其中，k′表示N个不同波段光谱的波数；S6、结合步骤S4中得到的缺陷纹理特征和步骤S5中得到的光谱曲线Sk′,z,x,y，建立缺陷分类模型，并基于缺陷分类模型对不同类型缺陷进行区分。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 基于弱相干干涉光谱成像系统的光学元件缺陷检测方法