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申请/专利权人：江苏睿新库智能科技有限公司
摘要：本发明提出了一种晶圆盒搬运结构及包含其的人工口、天车口，解决了现有运输机构结构复杂，体积大，运行不稳定且维修不便捷的问题，其方案包括：水平式的底座、置于底座内的多轴式驱动结构以及承载台，以底座水平方向为X轴，以底座高度方向为Z轴，底座顶部开设有沿X轴分布的导向槽，驱动结构包括以X轴分布第一驱动件与以Z轴分布的第二驱动件，第一驱动件包括以X轴为轨道向的第一导轨、以导轨伺服运动的滑块以及固定在所述滑块上的安装板，第二驱动件设置在安装板上，其包括以Z轴为轨道向的第二导轨、滑动连接在所述第二导轨上的齿条以及伺服转动并与齿条相啮合的齿轮，所述承载台与所述齿条顶部连接固定且外露所述导向槽设置。
主权项：1.一种晶圆盒搬运结构，其特征在于，包括：水平式的底座、置于底座内的多轴式驱动结构以及承载台，以所述底座水平方向为X轴，以所述底座高度方向为Z轴，所述底座顶部开设有沿X轴分布的导向槽，所述驱动结构包括以X轴分布第一驱动件与以Z轴分布的第二驱动件，所述第一驱动件包括以X轴为轨道向的第一导轨、以所述导轨伺服运动的滑块以及固定在所述滑块上的安装板，所述第二驱动件设置在所述安装板上，其包括以Z轴为轨道向的第二导轨、滑动连接在所述第二导轨上的齿条以及伺服转动并与齿条相啮合的齿轮，所述齿条背部穿过所述第二导轨且固定连接有旋转中空平台，所述旋转中空平台底部固定连接有旋转电机，所述旋转电机输出端穿过旋转中空平台并与所述承载台底部中心固定，所述承载台外露所述导向槽设置。
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百度查询： 江苏睿新库智能科技有限公司 一种晶圆盒搬运结构及包含其的人工口、天车口
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