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申请/专利权人：光科芯图(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及极紫外光刻领域，特别涉及一种极紫外光的高效率输出方法及装置，本发明的极紫外光的高效率输出方法包括以下步骤：获取特定靶材料，将特定靶材料气化形成靶气体；向气体混合腔内以预设比例通入工作稀有气体、缓冲气体及靶气体形成混合气体；将混合气体通入放电腔室进行预脉冲电离为低价态离子并生成初始等离子体回路；向放电腔室内通入强脉冲使低价态离子向各自的高价态电离，得到靶离子及工作稀有气体对应离子各自的预设价态离子；靶气体及工作稀有气体的预设价态离子在回路中电流产生的磁场下被箍缩产生极紫外光。金属靶材料的EUV转换效率更高，缓冲气体提高体系电子密度，工作稀有气体能辐射极紫外光，进而提升13.5nm波长的EUV输出效率。
主权项：1.一种极紫外光的高效率输出方法，其特征在于：具体包括以下步骤：获取特定靶材料，将特定靶材料气化形成靶气体；向气体混合腔内以预设比例通入工作稀有气体、缓冲气体及靶气体形成混合气体；将所述混合气体通入放电腔室进行预脉冲电离为低价态离子并生成初始等离子体回路；向放电腔室内通入强脉冲使低价态离子向各自的高价态电离，得到靶离子及工作稀有气体对应离子各自的预设价态离子；所述靶气体及工作稀有气体的预设价态离子在回路中电流产生的磁场下被箍缩产生极紫外光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光科芯图(北京)科技有限公司 一种极紫外光的高效率输出方法及装置
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