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一种钙钛矿层及界面修饰层智能涂布方法及装置 

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申请/专利权人:杭州众能光电科技有限公司

摘要:本发明实施例提供了一种钙钛矿层及界面修饰层智能涂布方法及装置,通过获取当前钙钛矿层涂布及退火数据、当前环境数据、当前钙钛矿层与界面修饰层交互数据以及当前界面修饰层涂布数据,并将上述数据输入至钙钛矿层与界面修饰层评价预测模型,得到第一预测输出、第二预测输出以及第三预测输出,并比较第三预测输出与最终目标输出,得到第一比较结果,根据第一比较结果判断是否对当前钙钛矿层涂布及退火数据进行修正,解决了现有技术中无法对钙钛矿层与界面修饰层的结合工艺的系统性预测和实时调整的技术问题,提高了产品质量的稳定性及生产一致性,实现了规模化生产。

主权项:1.一种钙钛矿层及界面修饰层智能涂布方法,其特征在于,包括:获取当前钙钛矿层涂布及退火数据、当前环境数据、当前钙钛矿层与界面修饰层交互数据以及当前界面修饰层涂布数据;将所述当前钙钛矿层涂布及退火数据、所述当前环境数据、所述当前钙钛矿层与界面修饰层交互数据以及所述当前界面修饰层涂布数据输入至钙钛矿层与界面修饰层评价预测模型,输出第一预测输出、第二预测输出以及第三预测输出,所述第一预测输出是钙钛矿层涂布结束还未进行钙钛矿退火时表征指标的预测输出,所述第二预测输出是钙钛矿层涂布结束至退火结束期内表征指标变化率的预测输出,所述第三预测输出是界面修饰层涂布完成后界面区域表征指标的初始预测输出;获取所述第三预测输出以及最终目标输出,所述最终目标输出是界面修饰层涂布完成后界面区域表征指标的期望目标输出;比较所述第三预测输出与所述最终目标输出,得到第一比较结果;当所述第一比较结果满足第一条件时,则根据当前钙钛矿层涂布及退火数据进行钙钛矿层涂布和退火;当所述第一比较结果不满足第一条件时,根据所述第一比较结果、所述第一预测输出以及所述第二预测输出判断是否存在钙钛矿层涂布异常或者钙钛矿退火异常,若存在所述钙钛矿层涂布异常或者钙钛矿退火异常,则调整当前钙钛矿层涂布及退火数据以得到修正钙钛矿层涂布及退火数据,并根据修正钙钛矿层涂布及退火数据进行钙钛矿层涂布和退火。

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权利要求:

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