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申请/专利权人：上海健照半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种光刻机远端调试架台显示装置，涉及光刻机技术领域，包括支撑机构、主体机构和定位观测机构；所述主体机构包括干涉仪接收端和电路板，所述干涉仪接收端共设置多个，多个干涉仪接收端的外表壁均套设绝缘套；本实用新型通过设置多个干涉仪接收端，在多个干涉仪接收端的外表壁均套设绝缘套，提高该装置的安全性，设置探针与干涉仪接收端电性连接，同轴电缆和示波器电性连接，观察不同线路连接后的电信号波形，避免人为切换效率低，操作不当损坏设备的情况；通过电机带动丝杆与滑块旋转连接，使滑块在滑槽的内部滑动，调整内窥摄像头的成像范围，利用视频线连接显示屏和内窥摄像头，便于通过显示屏观察电信号。
主权项：1.一种光刻机远端调试架台显示装置，其特征在于，包括支撑机构1、主体机构2和定位观测机构3；所述主体机构2包括干涉仪接收端201和电路板205，所述干涉仪接收端201共设置多个，多个干涉仪接收端201的外表壁均套设绝缘套202，多个所述绝缘套202的内部均插设探针203，所述探针203与干涉仪接收端201电性连接，多个所述探针203的一端均固定连接导线204，所述电路板205的一侧固定设置多个连接端206和输出端207，多个所述导线204的一端分别与多个连接端206固定连接，多个所述输出端207的一侧均固定连接同轴电缆208，多个所述同轴电缆208的一端均固定连接示波器209。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海健照半导体科技有限公司 一种光刻机远端调试架台显示装置
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