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申请/专利权人：江苏春潮科技发展有限公司
摘要：本实用新型公开了一种透过增强型离轴积分腔结构，包括机械腔体、近端腔镜、远端腔镜和红外激光器；近端腔镜和远端腔镜均为平凹镜，且近端腔镜和远端腔镜的平面均设置为入射面并镀有增透膜、凹面均设置为反射面并镀有增反膜；近端腔镜和远端腔镜的凹面平行相对并与机械腔体共同组成光学谐振腔；近端腔镜和远端腔镜的间距和凹面的曲率取值使得离轴入射光束打破傍轴近似条件。本实用新型采用透射通过式的离轴积分腔设计，降低了F‑P腔干涉效应引起过量光强波动噪声以及基线波动影响，同时谐振腔的调节方便，提高了对机械振动的免疫力，装置简单；这种方式通过激发大量腔模，使得自由光谱范围变小，有效地抑制了腔模噪声，提高了灵敏度。
主权项：1.一种透过增强型离轴积分腔结构，其特征在于：包括机械腔体4、近端腔镜2、远端腔镜5和红外激光器1；所述近端腔镜2和远端腔镜5均为平凹镜，且所述近端腔镜2和远端腔镜5的平面均设置为入射面并镀有增透膜、凹面均设置为反射面并镀有增反膜；所述近端腔镜2和远端腔镜5的凹面平行相对并与机械腔体4共同组成一个密封光学谐振腔；所述红外激光器1为近红外波长可调谐激光器，且所述红外激光器1设置于近端腔镜2前使激光光束以向X轴偏0.1～0.8°、向Y轴偏1～2°的角度离轴入射到光学谐振腔中；所述机械腔体4外还设置有聚焦透镜7和探测器8，且所述聚焦透镜7靠近于机械腔体4设置有远端腔镜5的一侧设置；所述探测器8靠近聚焦透镜7设置；所述红外激光器1发出的激光光束透过所述近端腔镜2到光学谐振腔内与待测气体组分接触后到达远端腔镜5的凹面后，经反射回到近端腔镜2的凹面，再反射回远端腔镜5的凹面，由此来回反射，并在近端腔镜2的凹面及远端腔镜5的凹面上形成光斑，同时有大量微弱光束经远端腔镜5增反膜透射出形成所需的探测光束，所述聚焦透镜7将该探测光束全部聚焦到探测器8的检测芯片上；所述近端腔镜2和远端腔镜5的间距和凹面的曲率取值使得离轴入射光束打破傍轴近似条件。
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