龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：弥费科技(上海)股份有限公司
摘要：本申请涉及一种存储库，用以存放晶圆盒，包括：设置有包括若干承载盘的存储区的存储库本体，承载盘上设有用以向晶圆盒内吹气的吹气嘴，承载盘沿Z向配置有多层，沿X向配置有多列，存储区沿Y向设置至少一处，及设于存储库本体的内部的吹气系统，吹气系统对应每一存储区分别设有吹气控制部、多条吹气管路，吹气控制部用以连接外部气源并将气体输送给各吹气管路，吹气控制部在X向上位于存储区的一侧，各条所述吹气管路均沿X向延伸，各吹气管路与各层的承载盘一一对应，吹气管路与对应层的承载盘的各吹气嘴均连通。吹气控制部设置存储库内部，不占用存储库外部的环境空间，且吹气控制部引出后的管路总尺寸较短。
主权项：1.一种存储库，用以存放晶圆盒，其特征在于，所述存储库包括：存储库本体，所述存储库本体中设置有包括若干承载盘的存储区，所述承载盘用以放置晶圆盒，所述承载盘上设有用以向所述晶圆盒内吹气的吹气嘴，所述若干承载盘沿Z向配置有多层，沿X向配置有多列，所述存储区沿Y向设置至少一处，所述X向、Y向及Z向两两垂直，所述Z向为所述存储库的高度方向；及吹气系统，设于所述存储库本体的内部，用以向各所述承载盘的吹气嘴供气，所述吹气系统对应每一所述存储区分别设有吹气控制部、与所述吹气控制部相连的多条吹气管路，吹气控制部用以连接外部气源并将气体输送给各吹气管路，所述吹气控制部在所述X向上位于所述存储区的一侧，各条所述吹气管路均沿所述X向延伸，各条的所述吹气管路与各层的所述承载盘一一对应，所述吹气管路与对应层的所述承载盘的各吹气嘴均连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 弥费科技(上海)股份有限公司 存储库
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号