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申请/专利权人：季华恒烨(佛山)电子材料有限公司
摘要：本实用新型涉及玻璃基板的加工领域，其公开一种减压干燥装置，包括外真空腔室、内真空腔室、支撑台、第一抽气管和阀门，所述内真空腔室设置在所述外真空腔室内，所述支撑台设置在所述内真空腔室内，所述支撑台与所述内真空腔室固定相连，所述阀门设置在所述内真空腔室上，所述阀门的输入孔设置在所述内真空腔室内，所述阀门的输出孔设置在所述内真空腔室外，所述阀门可接通或阻断内真空腔室和外真空腔室，所述第一抽气管设置在所述外真空腔室上，所述第一抽气管连通到所述外真空腔室内。
主权项：1.一种减压干燥装置，其特征在于，包括外真空腔室1、内真空腔室、支撑台3、第一抽气管4和阀门5，所述内真空腔室设置在所述外真空腔室1内，所述支撑台3设置在所述内真空腔室内，所述支撑台3与所述内真空腔室固定相连，所述阀门5设置在所述内真空腔室上，所述阀门5的输入孔设置在所述内真空腔室内，所述阀门5的输出孔设置在所述内真空腔室外，所述阀门5可接通或阻断内真空腔室和外真空腔室1，所述第一抽气管4设置在所述外真空腔室1上，所述第一抽气管4连通到所述外真空腔室1内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 季华恒烨(佛山)电子材料有限公司 一种减压干燥装置
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