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一种多腔式化学气相沉积炉 

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申请/专利权人:西安西炉特种电炉有限公司

摘要:本实用新型涉及沉积炉技术领域,具体涉及一种多腔式化学气相沉积炉,包括上炉体、下炉体、升降机构和支撑组件,支撑组件包括卡板、固定板、弹簧、框架、基座、支架和吸盘;首先将基座放置于指定位置处,并将支架展开,使得支架底部的吸盘能够稳定吸附在地面,此时,根据下炉体的大小,将框架内的弹簧压缩,使得固定板跟随移动,进而方便工作人员将下炉体放置于框架内,此时,松开弹簧,弹簧开始复位,推动固定板移动,使得卡板随之移动,滑入设置于下炉体的凹槽内,将下炉体的位置卡住,同时,将上炉体安装至下炉体侧边的升降机构上,方便后续的使用,从而解决现有设备在安装时不能将其位置固定的问题。

主权项:1.一种多腔式化学气相沉积炉,包括上炉体、下炉体和升降机构,所述下炉体设置于所述下炉体的底部,所述升降机构设置于所述下炉体的侧边,其特征在于,还包括支撑组件,所述支撑组件包括卡板、固定板、弹簧、框架、基座、支架和吸盘;所述卡板与所述下炉体滑动连接,并位于所述下炉体的一侧,所述固定板与所述卡板固定连接,并位于所述卡板的一侧,所述弹簧与所述固定板固定连接,并位于所述固定板远离所述卡板的一侧,所述框架与所述弹簧固定连接,并位于所述弹簧远离所述固定板的一侧,所述基座与所述框架固定连接,并位于所述框架的底部,所述支架与所述基座固定连接,并位于所述基座的一侧,所述吸盘与所述支架固定连接,并位于所述支架的底部。

全文数据:

权利要求:

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