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申请/专利权人：英诺赛科(苏州)半导体有限公司
摘要：本实用新型涉及二次离子质谱实验室辅助治具技术领域，提供一种适用于二次质谱仪的样品载台套件，包括壳体和固定组件；壳体内限定有一容置空间，容置空间的底面上具有多个窗口；固定组件设于壳体上，固定组件用于将样品固定于容置空间的底部，以使得样品的待处理面能够由窗口露出。本实用新型通过在底部开设窗口使得样品固定于容置空间的底部，使得待作用面在壳体底面上，避免了掉落颗粒物的污染，提升了采集的准确性。
主权项：1.一种适用于二次质谱仪的样品载台套件，其特征在于，包括：壳体10和固定组件20；所述壳体10内具有容置空间11，所述容置空间11的底面上具有多个窗口13；所述固定组件20设于所述壳体10上，所述固定组件20用于将样品固定于所述容置空间11的底部，并使得样品的待处理面能够由所述窗口13露出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 英诺赛科(苏州)半导体有限公司 适用于二次质谱仪的样品载台套件
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