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一种腔体异物检测装置 

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申请/专利权人:北京清大天达光电科技股份有限公司

摘要:本发明公开了一种腔体异物检测装置,属于腔体检测技术领域,包括注液机构、工装机构和液位检测机构,所述工装机构包括工装盖、连接器和液囊,所述连接器安装在所述工装盖内,所述连接器的注液件与所述注液机构的输出端连接、排液件与液位检测机构的输入端连接;所述液囊设置在所述连接器的下侧,所述连接器的注液件和排液件分别与所述液囊内部连通;所述工装盖下侧设置有工件的接合部。将液囊内液体在腔体内的体积变化量,转化为排出液的液位变化量,以确定腔体内是否有异物的存在;结构简单、设计合理、使用方便。

主权项:1.一种腔体异物检测装置,其特征在于,包括注液机构1、工装机构2、液位检测机构4和压力控制装置3,所述工装机构2包括工装盖23、连接器21和液囊24,所述连接器21安装在所述工装盖23内,所述连接器21的注液件211与所述注液机构1的输出端连接;所述液囊24设置在所述连接器21的下侧,所述连接器21的注液件211和排液件212分别与所述液囊24内部连通;所述工装盖23下侧设置有工件的接合部;所述液位检测机构4包括液位测试管47和至少一个液位传感器46,所述液位传感器46设置在液位测试管47上,所述液位测试管47的一端与所述连接器21的排液件212连接;所述液位测试管47采用毛细管;所述压力控制装置3包括减压阀31,所述减压阀31的一端与所述液位测试管47的另一端连接,减压阀31具有逆流功能。

全文数据:

权利要求:

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