龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种接合装置、接合系统以及接合方法，能够抑制在基板彼此接合时产生的接合不良。本公开的一个方式的接合装置具备第一保持部、第二保持部、撞击件以及离子发生器。第一保持部从第一基板的上方吸附保持所述第一基板。第二保持部配置在比所述第一保持部靠下方的位置，从第二基板的下方吸附保持所述第二基板。撞击件按压所述第一基板的中心部来使该第一基板的中心部与所述第二基板接触。离子发生器配置在比所述第二保持部靠上方的位置。
主权项：1.一种接合装置，具备：第一保持部，其从第一基板的上方吸附保持所述第一基板；第二保持部，其配置在比所述第一保持部靠下方的位置，从第二基板的下方吸附保持所述第二基板；撞击件，其按压所述第一基板的中心部来使该第一基板的中心部与所述第二基板接触；以及离子发生器，其配置在比所述第二保持部靠上方的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 接合装置、接合系统以及接合方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号