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申请/专利权人：四川英创力电子科技股份有限公司
摘要：本发明公开一种线路板ICD的控制方法，涉及线路板内层互联缺陷改进技术，属于印刷电路制造领域，包括以下步骤：将线路板放入等离子去胶机的处理腔室，并排出处理腔室内的空气；启动等离子去胶机，提升处理腔室的温度到80℃~100℃；向处理腔室内以2SLM~3.25SLM的流量通入第一混合气体，第一混合气体包括O2和N2，O2与N2的混合比例为3:1~5:1，通入第一混合气体的时间持续30分钟~70分钟；向处理腔室内以2SLM~3.25SLM的流量通入第二混合气体，第二混合气体包括O2、CF4、N2，且O2占比为60%~90%，CF4占比为5%~20%，N2占比为5%~20%，通入第二混合气体的时间持续45分钟~90分钟；向处理腔室内以2SLM~3.25SLM的流量通入O2，通入O2的时间持续10分钟~15分钟。本发明可以有效解决线路板内层互连缺陷问题，且除胶效率较高。
主权项：1.一种线路板ICD的控制方法，其特征在于，包括以下步骤：S100：将线路板放入等离子去胶机的处理腔室，并排出处理腔室内的空气；S200：启动等离子去胶机，提升处理腔室的温度到80℃~100℃；S300：向处理腔室内以2SLM~3.25SLM的流量通入第一混合气体，第一混合气体包括O2和N2，O2与N2的混合比例为3:1~5:1，通入第一混合气体的时间持续30分钟~70分钟；S400：向处理腔室内以2SLM~3.25SLM的流量通入第二混合气体，第二混合气体包括O2、CF4、N2，且O2占比为60%~90%，CF4占比为5%~20%，N2占比为5%~20%，通入第二混合气体的时间持续45分钟~90分钟；S500：向处理腔室内以2SLM~3.25SLM的流量通入O2，通入O2的时间持续10分钟~15分钟。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 四川英创力电子科技股份有限公司 一种线路板ICD的控制方法
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