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申请/专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种半导体废气处理系统及半导体废气处理系统的控制方法，半导体废气处理系统包括缓存储罐、风机和反应腔，缓存储罐的第一进气口适于与废气排气口连通，缓存储罐的第一出气口通过风机与反应腔的第一进气口连通，风机与反应腔连通的管路上沿气体流向依次设有开关阀和流量计，缓存储罐设有压力检测器，风机适于根据压力检测器的检测结果控制缓存储罐的排气流量。能够应对各种易燃废气的进气情况，不受进气量不稳定的影响，对废气流量波动进行平缓处理，有足够的反应处理时间。
主权项：1.一种半导体废气处理系统，其特征在于：包括缓存储罐、风机和反应腔，所述缓存储罐的第一进气口适于与废气排气口连通，所述缓存储罐的第一出气口通过所述风机与所述反应腔的第一进气口连通，所述风机与所述反应腔连通的管路上沿气体流向依次设有开关阀和流量计，所述缓存储罐设有压力检测器，所述风机适于根据所述压力检测器的检测结果控制所述缓存储罐的排气流量。
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权利要求：
百度查询： 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 半导体废气处理系统及半导体废气处理系统的控制方法
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