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一种同步辐射装置用光栅单色器双轴平行度检测方法 

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申请/专利权人:武汉大学

摘要:本发明公开了一种同步辐射装置用光栅单色器双轴平行度检测方法,涉及同步辐射装置用光栅单色器技术领域,包括以下步骤:S1、设计平面工装;S2、测量连续转动过程中工装面夹角数据;S3、依据工装面夹角数据计算两转轴夹角。本发明设计了一套带有高精度激光干涉测距仪的平面工装,通过测量工装平面在绕轴转动过程中的工装面夹角变化,成功计算了转轴夹角,填补了光栅单色器双轴平行度无法精确测量的空白,本发明为同步辐射装置高性能线站的设计与建设提供了理论支撑和技术指导,也可用于指导光栅单色器的结构优化设计。通过测量光栅单色器两转轴上负载的一组平面工装在转动过程中面夹角的变化计算单色器的双轴平行度。

主权项:1.一种同步辐射装置用光栅单色器双轴平行度检测方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、设计平面工装,所述平面工装用于装载在单色器上,且平面工装由工装F(3)、工装F上装载的反射平面镜G(4)、工装E(8)以及工装E上装载的激光干涉测距仪(9)组成,单色器由平行分布的光栅单色器中搭载反射镜B的结构件(1)、反射平面镜B(2)、光栅单色器转轴C(5)、光栅单色器中搭载光栅的结构件(6)、光栅A(7)以及光栅单色器转轴D(10)组成,所述光栅单色器中搭载反射镜B的结构件(1)和光栅单色器中搭载光栅的结构件(6)分别装载在光栅单色器转轴C(5)和光栅单色器转轴D(10)上;S2、测量连续转动过程中工装面夹角数据;S3、依据工装面夹角数据计算两转轴夹角。

全文数据:

权利要求:

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