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申请/专利权人：拓能(江苏)石英科技有限公司
摘要：本发明提供一种应用于石英制品表面的涂层结构，包括石英制品和涂层，石英制品具有设定表面，设定表面上设置覆盖有涂层的第一区域以及未覆盖有涂层的第二区域。本发明采用局部涂覆策略，只在石英制品设定表面的部分区域内覆盖涂层，其目的在于合理分隔沉积层：当硅或者其它非石英沉积物进行沉积时，会分别沉积在覆盖涂层的区域和未覆盖涂层的区域，由于覆盖涂层的区域和未覆盖涂层的区域之间具有高度差及不同的膨胀系数，沉积层不会再形成完整的整体，沉积层内部的应力会分散到涂层结构的边界，从而消减石英制品所承受的应力，降低石英制品因为应力过大而开裂破碎的概率，延长石英制品的使用寿命，减少石英制品的更换频次，从而降低工艺成本。
主权项：1.一种应用于石英制品表面的涂层结构，其特征在于：包括石英制品和涂层，所述石英制品具有设定表面，所述设定表面上设置覆盖有所述涂层的第一区域以及未覆盖有所述涂层的第二区域；所述设定表面的面积为所述第一区域的面积与所述第二区域的面积之和，所述第一区域的面积占所述设定表面的面积的1%～80%。
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权利要求：
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