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申请/专利权人：深圳综合粒子设施研究院
摘要：本发明适用于光学元件面形控制技术领域，提供了一种X射线反射镜及热面形控制方法。上述X射线反射镜包括反射镜本体、冷却单元以及面形矫正件。由于面形矫正件与反射镜本体热膨胀系数不同，在相同温度升降下两者的膨胀收缩程度也会存在差异。由于面形矫正件与反射镜本体之间界面结合作用，面形矫正件会对反射镜本体施加一定的热应力。此时通过面形矫正件自身尺寸优化、对面形矫正件与反射镜本体之间几何关系以及位置进行调整，将该热应力转化为对于反射镜本体的补偿弯矩。通过冷却水温度调整可以有效改变补偿弯矩幅度，以抵消反射镜本体受光面在被照射后产生的热变形。
主权项：1.一种X射线反射镜，其特征在于，包括：反射镜本体，包括用于反射光束的受光面；冷却单元，借由界面导热介质与所述反射镜本体间接接触，用于控制所述反射镜本体的温升；面形矫正件，固设在所述反射镜本体上，所述面形矫正件的热膨胀系数与所述反射镜本体的热膨胀系数存在显著差距，所述面形矫正件用于在受热时与反射镜本体产生界面热应力、以产生补偿所述反射镜本体受光面变形效果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳综合粒子设施研究院 X射线反射镜及热面形控制方法
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