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申请/专利权人：中山市有信新材料有限公司
摘要：本发明具体涉及一种超硬复合薄膜材料及其制备方法，包括S1.对基底材料进行清洗，然后对基底进行加热除气，表面粗化；S2.在真空腔室内安装Cr靶材和CrN靶材，抽真空至所需的低气压环境，配置溅射参数，控制每层Cr沉积层和CrN沉积层的目标厚度，向腔室交替引入氩气和氮气进行溅射，控制Cr和CrN分别交替溅射沉积，构建CrCrN周期层；S3.沉积结束后，缓慢充入大气，对制备好的薄膜进行热处理，制得产品；配置溅射参数先通过粒子追踪模拟算法进行初始配置，然后通过遗传算法进行优化配置。
主权项：1.一种超硬复合薄膜材料及其制备方法，其特征在于，包括步骤：S1.对基底材料进行清洗，然后对基底进行加热除气，表面粗化；S2.在真空腔室内安装Cr靶材和CrN靶材，抽真空至所需的低气压环境，配置溅射参数，控制每层Cr沉积层和CrN沉积层的目标厚度，向腔室交替引入氩气和氮气进行溅射，控制Cr和CrN分别交替溅射沉积，构建CrCrN周期层；S3.沉积结束后，缓慢充入大气，对制备好的薄膜进行热处理，制得产品；配置溅射参数先通过粒子追踪模拟算法进行初始配置，然后通过遗传算法进行优化配置。
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权利要求：
百度查询： 中山市有信新材料有限公司 一种超硬复合薄膜材料及其制备方法
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