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申请/专利权人：中化环境设备工程(江苏)有限公司
摘要：本发明涉及一种半导体制程综合废水的处理方法及装置，所述方法包括除铜除过氧化氢、除氨氮、除氟和生化净化等步骤，其中除铜除过氧化氢为基于外加硫酸亚铁和废水中的过氧化氢实施强氧化反应，实现络合铜破络，通过反应消耗去除过氧化氢，通过絮凝沉淀去除破络后的铜；除氨氮为通过吹脱方式去除除铜除过氧化氢后废水中的氨氮；除氟为采用沉淀方式去除除氨氮后废水中的氟；生化净化为采用生化反应方式去除除氟后废水中的污染物。所述装置包括相应的除铜除过氧化氢装置、除氨氮装置、除氟装置和生化净化装置。本发明能够实现对半导体制程综合废水的综合处理，有助于简化处理设备，方便废水管理，降低处理费用。
主权项：1.一种半导体制程综合废水的处理方法，其特征在于包括下列步骤：1）除铜除过氧化氢：基于外加硫酸亚铁和废水中的过氧化氢实施强氧化反应，实现络合铜破络，通过反应消耗去除过氧化氢，通过絮凝沉淀去除破络后的铜；2）除氨氮：通过吹脱方式去除除铜除过氧化氢后废水中的氨氮；3）除氟：采用沉淀方式去除除氨氮后废水中的氟；4）生化净化：采用生化反应方式去除除氟后废水中的污染物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中化环境设备工程(江苏)有限公司 一种半导体制程综合废水的处理方法及装置
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