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申请/专利权人：孟州市康耀电子有限公司

摘要：一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，阴极座外面一侧设置控制台、PLC控制中心；导电玻璃磁控溅射镀膜生产线的成品出口端一侧设置高斯剂检测台、一对阴极磁强检测探头；磁铁座导向框口端设置为靶材背板、靶材；阴极座另一侧中心设置四个步进电机，步进电机输出端设置传动箱、传动齿轮组、丝杠；磁铁座另一侧分别对应丝杠设置丝杠套，丝杠套中分别设置丝杠；PLC控制中心下方一侧分别设置两个数据收集模块、另一侧分别设置四个电机执行模块；本实用新型的导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强为在线调整系统，PLC控制中心自动控制步进电机调整缩小磁铁与靶材表面的距离，能够在线调整靶材表面的磁场强度，提高了生产和产品的质量。

主权项：1.一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，所述的导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，是由阴极座（1）、磁铁座导向框（1-1）、磁铁座（2）、丝杠套（2-1）、靶材背板（3）、磁铁导销（3-1）、靶材（4）、磁铁（5）、步进电机（6）、电机座（6-1）、传动齿轮组（7）、传动箱（8）、丝杠（9）、绝缘法兰（10）、控制台（11）、PLC控制中心（12）、数据收集模块（12-1）、电机执行模块（12-2）、高斯剂检测台（13）、阴极磁强检测探头（14）构成；其特征在于：导电玻璃磁控溅射镀膜生产线的一面设置为阴极座（1），阴极座（1）外面一侧设置控制台（11），控制台（11）中设置PLC控制中心（12）；导电玻璃磁控溅射镀膜生产线的成品出口端一侧设置高斯剂检测台（13），高斯剂检测台（13）中设置一对阴极磁强检测探头（14），高斯剂检测台（13）上方一侧分别设置为检测试剂口；阴极座（1）设置为矩形板块，阴极座（1）内侧中部周围设置为磁铁座导向框（1-1），磁铁座导向框（1-1）外侧边缘的板面上设置为绝缘法兰（10）；磁铁座导向框（1-1）口端设置为靶材背板（3），靶材背板（3）外侧设置为靶材（4），磁铁座导向框（1-1）两侧分别与阴极座（1）、靶材背板（3）设置为矩形腔体；磁铁座导向框（1-1）中设置磁铁座（2），磁铁座（2）一侧设置磁铁（5），靶材背板（3）对应磁铁（5）的一侧均布设置磁铁导销（3-1），磁铁（5）上面分别对应磁铁导销（3-1）预留导销孔，导销孔中分别设置磁铁导销（3-1）。

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