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反射型动态超颖表面 

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申请/专利权人:浜松光子学株式会社

摘要:一实施方式所涉及的反射型动态超颖表面具备用于在至少构成一维排列的多个像素的各个中能够进行相位调制的结构。该超颖表面具备具有透明导电层及电介质层的层叠结构体;设置于层叠结构体的一方的面上的第1金属膜、设置于层叠结构体的另一方的面上的第2金属膜、及控制向第1及第2金属膜间施加的电压的驱动电路。第1及第2金属膜以夹着构成一维排列的多个像素的方式配置。第1金属膜以在1个像素中露出一对窗区域的方式配置,第2金属膜包含规定像素各自的形状并且相互分离的多个部分金属膜。驱动电路通过个别地控制部分金属膜各自的电位,而在每个像素调制所输入的光的相位。

主权项:1.一种反射型动态超颖表面,其中,具备:层叠结构体,其具有规定波长的光能够双向地通过的第1面、与所述第1面相对的第2面、对所述光具有透过性并且配置于所述第1面与所述第2面之间的透明导电层、及对所述光具有透过性并且配置于所述第1面与所述第2面之间的电介质层,且设定有至少包含在沿着自所述第1面向所述第2面的层叠方向观察所述第1面时构成一维排列的多个像素的像素区域;第1金属膜,其设置于所述层叠结构体的所述第1面上;第2金属膜,其以与所述第1金属膜一起夹着多个所述像素的方式,设置于所述层叠结构体的所述第2面上,将通过了所述第1面的所述光朝向所述第1面反射;及驱动电路,其控制向所述第1金属膜与所述第2金属膜之间施加的电压,所述第1金属膜以沿着所述层叠方向观察所述第1面时,在多个所述像素的各个中,在夹着所述第1金属膜的至少一部分的状态下相互分离的一对窗区域露出的方式,设置于所述第1面上,至少所述第2金属膜包含分别在所述第2面上规定多个所述像素中建立了对应的像素的重心位置及形状的多个部分金属膜,多个所述部分金属膜在相互隔开规定距离并且电性分离的状态下,设置于所述第2面上,所述驱动电路具有如下结构:为了对多个所述像素的各个调制所述光的相位,至少个别地控制与多个所述像素一对一地对应的多个所述部分金属膜的电位,所述驱动电路位于所述层叠结构体的所述第2面的一侧,包含以与多个所述部分金属膜一对一地对应的方式设置,并且由多个所述部分金属膜中建立了对应的部分金属膜构成一方的电极的电容器,所述第2金属膜在所述层叠结构体的所述层叠方向上位于多个所述电容器的另一方的电极和所述第1金属膜之间。

全文数据:

权利要求:

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