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申请/专利权人：芜湖义柏载具精密技术有限公司
摘要：本实用新型公开一种晶圆居中设置的运输盒，包括盒体，盒体于侧壁上设置有分隔槽，分隔槽于前、后两端分别形成第一开口以及第二开口，晶圆可经第一开口置于分隔槽中，盒体还设置有定位机构，定位机构设置有定位槽，定位槽与第二开口连接，定位槽用于与设置在分隔槽中的晶圆连接，以将晶圆居中设置在分隔槽中，通过上述结构设置，因本实用新型设置有定位槽，晶圆可固定于定位槽中，当盒体在运输过程中产生晃动时，晶圆可通过定位槽固定在分隔槽的中间位置，避免了晶圆与壳体以及分隔槽产生摩擦，从而防止了污染颗粒的产生，提高了晶圆的洁净度，同时还可避免因晶圆晃动弧度过大导致晶圆损坏，保证了晶圆在运输过程中，不会因颠簸而导致损坏。
主权项：1.一种晶圆居中设置的运输盒，包括盒体1，所述盒体1于侧壁上设置有分隔槽11，所述分隔槽11于前、后两端分别形成第一开口111以及第二开口112，晶圆可经所述第一开口111置于分隔槽11中，其特征在于，所述盒体1还设置有定位机构2，所述定位机构2设置有定位槽21，所述定位槽21与所述第二开口112连接，所述定位槽21用于与设置在分隔槽11中的晶圆连接，以将晶圆居中设置在所述分隔槽11中。
全文数据：
权利要求：
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