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申请/专利权人：深圳智赛精密装备有限公司

摘要：本发明涉及划片机切割工艺修正技术领域，具体的说是一种基于划片机在线检测数据的切割工艺修正方法，通过采用手工输入数据和在线检测系统数据，进行数据合并后储存，生成工件参数，然后划片机对晶圆进行切割，在不同产品进行生产时，仅需要调取工件参数档，调出最优工艺模型，并修改独有参数，即可进行加工，跳过实验环节，且搭配在线检测系统，在检测到切割过程与设定的状态不一致或出现异常时，按预定的措施进行适度的自适应调整，通过在线检测系统直观地观察到切割状态，并将更优的工艺状态重新保存为检测模板，连同关键参数一起对工件参数档和工艺模型进行更新，使工艺模型始终保持在最优状态。

主权项：1.一种基于划片机在线检测数据的切割工艺修正方法，其特征在于：通过采用手工输入数据和在线检测系统数据，且将手工输入数据与在线检测系统数据进行合并，在进行合并后进行内部储存，生成工件参数，并根据工件参数，划片机对晶圆进行切割，且在新建工件时，通过手动输入关键参数，并根据关键参数形成工件参数，且不同的工件参数之间形成工件参数档，进行分开储存，在进行手工输入数据时，输入的数据包括但不限于晶圆材料、晶圆厚度、刀片型号、膜片型号、主轴转速和进刀速度，且在线检测系统数据包括但不限于主轴扭矩、主轴电流和主轴转速数据，并将数据进行合并，在新设备进行投入使用时，先进行新建工件，并在新建工件时，输出空白模型，并进行提示“当前模型为空白模型”根据空白模型中需要进行填写的数据，进行手工输入，建立工件参数，根据工件参数，划片机对晶圆进行切割，在工件参数运行时，通过在线检测系统数据，对运行时的数据进行检测，并进行合并后，对工件参数进行更新，并对不同的工件生成不同的工件参数，进行建立工件参数档，在后续运行时，当有新的工件进行生产时，通过新建工件中，进行输入索引关键词，在工件参数档中，进行索引，查找出最接近的模型卡，生成工艺模型，以查找出的工艺模型作为样板，在样板中，进行输入必要的独有参数，生成新工件参数，且新工件参数通过在线检测系统数据进行储存，对新的工件进行建立工件参数档，通过新的工件参数档进行切割生产，在进行索引时，第一索引关键词为晶圆材料，在工件参数档中查找相同晶圆材料的工件参数档，第二索引关键词为晶圆厚度，并在工件参数档中，进行筛选最接近的厚度模型卡，进行选择，作为模型的样本，进行输入独有数据进行修改，在进行修改独有参数时，独有参数包括但不限于芯片尺寸、晶圆尺寸，且在进行填写独有参数时，系统进行提醒输入，并强制要求用户输入完该加工工件的独有且在生产中必要的参数，完成不包含在线检测数据但可实现切割作业的不完整工件参数档，或模型中已经包含在线检测数据模板的完整工件参数档，当用户没有输入独有参数或未完全输入独有参数而退出，则系统视为放弃新建工件作业，未完成的参数档也不被保存，且在线检测数据的矢量图形模板以字符的方式保存，工艺模型卡的所有数据均以固定格式，用字符的方式保存，并生成工件参数档，在后期生产同一规格的产品时，进行直接调出。

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