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申请/专利权人：费加罗技研株式会社
摘要：使用在设于基板的空腔的绝缘膜上设有金属氧化物半导体和加热器的MEMS气体传感器。通过由驱动电路以规定的周期且以规定的脉冲宽度使加热器动作，将金属氧化物半导体加热。如果由湿度的检测机构检测到气体环境是高湿度，则驱动电路使加热器的动作停止或将周期延长。
主权项：1.一种气体检测装置，其特征在于，具备：MEMS即微机电系统气体传感器，在设于基板的空腔的绝缘膜上设有金属氧化物半导体和加热器；驱动电路，通过以规定的周期且以规定的脉冲宽度使上述加热器动作，将上述金属氧化物半导体加热，根据加热时的上述金属氧化物半导体的电阻值检测气体；以及湿度的检测机构，检测气体环境的湿度；上述驱动电路构成为，如果由湿度的检测机构检测到气体环境是高湿度，则不使上述加热器动作而将气体的检测中止、或通过将上述周期延长而将气体的检测周期延长。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 费加罗技研株式会社 气体检测装置和气体检测方法
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