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申请/专利权人：北京大学
摘要：本发明公开了一种反射型二级光栅结构超表面生化传感器及其制备方法，属于超表面生化传感、微纳加工技术领域。本发明传感器包括自下而上依次设置的基底层、金属反射镜层和超原子阵列层，超原子阵列由多个二级光栅单元结构按周期P在金属反射镜层水平面上沿x轴方向或y轴方向排列而成；二级光栅单元结构包括上层顶部光栅和下层底部光栅，其纵截面为上下两层方形形状，上层方形水平宽度小于下层方形水平宽度，成台阶形状；超原子阵列与金属反射镜使超表面产生类导模共振模式，产生局域在超原子间的共振电场，显著增强光与物质相互作用。本发明兼顾高灵敏度和高品质因子，尺寸设计灵活，可实现微型化，易于集成在不同系统中，具有广阔的应用前景。
主权项：1.一种反射型二级光栅结构超表面生化传感器，其特征在于，包括自下而上依次设置的基底层、金属反射镜层和超原子阵列层，所述超原子阵列层由多个二级光栅单元结构按周期P在所述金属反射镜层水平面上沿x轴方向或y轴方向排列而成；所述二级光栅单元结构包括上层顶部光栅和下层底部光栅，其纵截面为上下两层方形的形状，上层方形的水平宽度小于下层方形的水平宽度，成台阶形状；所述超原子阵列中二级光栅单元结构的顶部光栅组成顶部光栅阵列，底部光栅组成底部光栅阵列；所述超原子阵列与金属反射镜使超表面产生类导模共振模式，产生局域在超原子间的共振电场，增强光与物质相互作用。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京大学 一种反射型二级光栅结构超表面生化传感器及其制备方法
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