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申请/专利权人：衢州永旭电子有限公司
摘要：本实用新型涉及晶硅加工设备技术领域，公开了一种晶硅粗磨精磨一体机，包括底座，底座的顶面靠近前后两侧均固定有两个第一导轨，第一导轨的上方滑动设置有活动架，活动架的一侧设置有支撑板，靠近底座右侧的两个支撑板相互靠近的两侧均转动连接有精磨砂轮，靠近底座左侧的两个支撑板相互靠近的两侧均转动连接有粗磨砂轮。本实用新型,通过折叠布的设置与使用，当精磨砂轮和粗磨砂轮与晶硅贴合时折叠布也与晶硅贴合，并且根据贴合部位的形状使得活动杆相对的伸缩，从而使得折叠布在精磨砂轮和粗磨砂轮的外围出形成一个相对封闭的空间，使得精磨砂轮和粗磨砂轮加工时的碎屑不会飞溅出来，避免对设备造成损坏的同时不需要工作人员后续进行清理。
主权项：1.一种晶硅粗磨精磨一体机，包括底座1，其特征在于，所述底座1的顶面靠近前后两侧均固定有两个第一导轨101，第一导轨101的上方滑动设置有活动架2，活动架2的一侧设置有支撑板201，靠近底座1右侧的两个支撑板201相互靠近的两侧均转动连接有精磨砂轮202，靠近底座1左侧的两个支撑板201相互靠近的两侧均转动连接有粗磨砂轮203，支撑板201的一侧固定有电机，若干个电机的输出轴分别与精磨砂轮202和粗磨砂轮203的一端固定，支撑板201的一侧设置有防溅射机构，活动架2的右侧设置有收集机构，底座1的顶面设置有夹持送料机构，防溅射机构包括固定在支撑板201一侧的折叠布204，折叠布204的内部缝合有若干个连接布条205。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 衢州永旭电子有限公司 一种晶硅粗磨精磨一体机
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